| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
ULVAC愛發科氣體(ti) 監測儀(yi)
適用於(yu) 各種濺射係統的工藝監控
Air Leak監控
殘留水分管理
無需差動排氣係統（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
內(nei) 置顯示屏：無需PC可單獨操作使用
可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052）
可進行全壓測定
操作簡單-One Click功能
標配Qulee QCS軟件
支持CE標準
適用於(yu) 濺射設備的殘餘(yu) 氣體(ti) 分析、工藝監控和雜質管理(H2O)。
用於(yu) 濺射設備的泄漏測試。
CGM-051/CGM2-101/CGM-052/CGM2-102
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型號 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
| 質量分離方式 | 四極型質量分析儀 | |||
| 質量數範圍 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 檢出器 | 法拉第杯 | 二級電子倍增管／法拉第杯 | ||
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小檢知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
| 線性 | 1Pa | |||
| 全壓力測量功能 | 有 | |||
| Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA | |||
| 一鍵檢漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| 電源電壓 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大烘烤可能溫度 (傳感器單元連接時) | 120℃ | |||
| 最大烘烤可能溫度 (傳感器單元移除時) | 250℃ | |||
| 使用溫度範圍 | 10～40℃ | |||
| 接口 | Ethernet | |||
| 軟件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用 | |||
| 符合標準 | CE | |||
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